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氦质谱检漏仪的漏率灵敏度，或称最小可检漏率，记作qLemin。它是指检蒲仪处于最佳工作条件下，以一个标准大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时，所能检出的最小漏孔的漏率。这里所说的最佳条件，

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就是被检件出气很少且没有大漏孔，仪器本身的工作参数调整到最佳工作状态的条件。即仪器节流阀完全开启，质谱室内为最佳工作压力，没有辅助真空系统分流，仪器本底和噪声最小，放大器放大倍数最大，发射电流和加速电压稳定，工作压力稳定以及氨峰准确等。而动态检漏则是指检漏时仪器内部真空系统仍然在正常抽气(不是累计法检漏)，而且当真空系统在时间常数不大于1s的条件下，仪器的反应时间不大于3s时所进行的检漏。最小可检漏率，则是指仪器输出表上可以观察出来的最小的指示变化，该变化主要受无规律起伏变化的噪声所限制。仪器的噪声是由于各种参数不稳定而引起的，外电源电压波动、真空度变化、发射电流变化、加速电压变化、放大器性能变化及外界电磁场干扰等都会引起输出仪表的不稳定摆动。如果漏人的氦气使输出仪表的变化值小于噪声，那么我们就很难判断究竟是漏气信号还是噪声，因此，噪声的大小也就成为能否判断漏气信号的标准。所以，这里所指的“最小可检漏率”是指引起输出指示的变化量等于二倍(也有规定为一倍)噪声所对应的漏率值。因此，检漏仪检漏时应尽量采取措施降低仪器噪声，以利最小可检漏率。