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按卤素检漏仪的工作条件，检漏方法有真空法和加压法两种：
(1)真空法。将检漏管装在被检系统上并共同抽真空。检漏时，用喷枪在被检系统可疑处喷畋。若有漏孔时，示漏气体经漏孔进入被检系统和检漏管，产生卤素效应，离子流I剧增，在指示仪表和蜂鸣器同时反映出来。据此可判定漏孔位置井粗略地估计漏孔漏率。此法使用固定式卤素检漏仪。
(2)加压式。将示漏气体压入被检系统中，使其压力高于大气压。检漏时，用探枪在被检系统外表面可疑处移动，若有漏孔时，从漏孔逸出的示漏气体就被探枪吸人并进入检漏管内，产生卤紊效应，离子流I剧增，在指示仪表和蜂鸣器同时反映出来，即表示有漏孔存在，并可粗略地估计漏率。此法适用于移动式卤素检漏仪。
原则上讲，凡含有卤族元素的气体物质或其混台物均可用作示漏气体。但在选用示漏气体时，要考虑取得难易程度、使用效果、价格以及对设备、人员的危害程度。常用的示漏气体有氟利昂、氯仿等。氟利昂(CFZCl2)无毒无味，多贮存在高压钢瓶内，检漏效果最好，因此过去采用氟利昂作示漏气体的最多。但出于保护臭氧层的目的，目前已被限制使用。氯仿即三氯甲烷CHCl3，无色，是透明易挥发的液体，臭味特殊、味微甜、遇光易变质，使用效果也较好。另外，还有四氯化碳、三氯乙烯、氟氯烷等也可作示漏气体。在制冷行业中，许多制冷剂都是含有卤族元素的物质，因此广泛采用卤素检漏仪进行系统检漏。
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